單晶爐作業指導書
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- 單晶爐作業指導書
1 設備/工具
單晶爐（DRF—85型）
真空泵（2H—100DV型滑閥泵、2XZ—15旋片式真空泵），直徑測量儀。
2 主要原輔材料
多晶硅、籽晶，摻雜劑、石墨熱場、石英坩堝、氬氣。
3 輔助設施
(1) 冷卻水系統、主室真空泵系統、副室真空系統、真空吸塵器系統。
(2) 工藝參數表：
規格 4〞 5〞 6〞
晶轉(r/min) 10±1 10±1 8±1
晶升(mm/min) 1.5±0.1 1.2±0.1 1.0±0.1
堝轉(r/min) 8.0±0.1 8.0±0.1 8.0±0.1
堝升(mm/min) 0.175±0.001 0.216±0.001 0.263±0.001
真空度(Pa) ＜5 ＜5 ＜5
氬氣流量(L/h) 1000±10 1000±10 1000±10
投料量(Kg) 50 50 50
熔料堝位(mm) 0±1 0±1 0±1
熔料功率(KVA) 85-90 85-90 85-90
拉晶堝位(mm) -4±1 -4±1 -4±1
單晶頸部(mm) ?3-4 ?3-4 ?3-4
引晶長...
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