ASM142氦檢漏儀操作規程
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- ASM142氦檢漏儀操作規程、運行前檢查
1、清潔檢漏儀及其周圍的衛生。
2、檢查機械泵油窗，看油層是否位于最大值和最小至之間，如果不是，添加油，直到滿足要求。
3、檢查進氣口是否與測試設備連接并緊固好。
4、檢查噴槍是否與氦氣源連接好。
5、檢查電源線是否連接好。
二、操作程序
1、將檢漏儀左側下方的電源開關撥到“1”，即打開電源。控制面板指示燈閃爍，分子泵啟動，系統進行自檢。當自檢完成時，測試循環準備就緒，可以進行檢測。這時伴有聲音提示“detector ready for cycle”且在LCD顯示：
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