機械真空泵
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- 真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的超高真空范圍。
由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
凡是利用機械運動(轉動或滑動)以獲得真空的泵，稱為機械真空泵。機械真空泵按其工作原理及結構特點分述如下：
1．變容真空泵
它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。
(1)往復式真空泵
利用泵腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。
(2)旋轉式真空泵
利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類：
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。
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